| 扫描电子显微镜扫描电子显微镜和漂移校正的方法 |
| JP2009012404 2009-1-22 发明申请 |
| 2010-8-5 |
| 要解决的问题 : 以实现一个漂移校正扫描电子显微镜的方法，其中的漂移校正不要求长时间在映射是可能的。溶液 : 电子束被从一个始发坐标至X方向扫描(步骤S201)和一个漂移校正是进行出使用一个参考图像用于漂移校正(步骤20A2a)。电子束2被扫描在X方向和漂移校正被执行(步骤s202b)。然后，该电子束被从该起始坐标到Y方向扫描和漂移校正是进行。然后，该电子束被扫描在Y方向和漂移校正被执行(步骤s202d)。此后，类似地，所述电子束被扫描在所述X方向和Y方向和漂移校正被用于每隔一个线制成的。提供，扫描到所述最后一个Y方向是不进行，因为校正是已经由通过所述漂移进行校正，远。版权 : (C)2010，inpit |
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