| 扫描传输电子显微镜，和像差校正方法。 |
| JP2009014268 2009-1-26 发明申请 |
| 2010-8-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描传输电子显微镜包括一功能能够容易地校正的和高精确五次的球面像差C5，和一个像差校正的方法。溶液 : 该扫描传输电子显微镜包括一种电光系统，一收敛之间设置一个球面像差校正器透镜和一物镜透镜的所述的电光系统，和提供具有多个用于产生一个六极的多极透镜的领域。用于补偿所述所述物镜的球面像差，在所述球面像差校正装置之间设置至少一个调节透镜和所述物镜，一个ronchigram检测装置，用于观察样品的一个ronchigram，和一个信息处理器，和该信息处理器检测所述的ronchigram所述样品，通过改变该调整透镜的焦点距离，检测一六角形图案的变化出现在所述伴奏中ronchigram到所述焦点距离的变化，和确定一用于所述c5五次的球面像差的校正条件。版权 : (C)2010，inpit |
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