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探针显微镜
US12699321 2010-2-3 发明申请
2010-8-5
一种探针显微镜,包括具有探针的悬臂、位移检测光学系统、观察光学系统、物镜和平行玻璃。 位移检测光学系统包括第一光源和光检测元件。 观察光学系统包括第二光源、成像透镜和照相机。 物镜设置在悬臂与第一光源和第二光源之间,通常由位移检测光学系统和观察光学系统使用。 平行玻璃能够在悬臂和物镜之间自由地插入和缩回,以调节物镜的焦点。
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