| 高速扫描探针显微镜 |
| WOIB10050186 2010-1-15 发明申请 |
| 2010-8-5 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜探针。所述探头20包括一个隧道电流导通部30和一隧道电流绝缘部分40。所述所述部分被配置成使得所述绝缘部分所述导电部30之间确定一个最小距离和所述样品表面。本发明可以进一步关注的一个扫描探针显微镜具有这样的一个探头，和一个对应的扫描探针显微术方法。由于该距离到所述样品表面100实际上是由所述绝缘部分40确定，控制所述垂直该探针20的相对位置到所述样品表面被容易地和快速地实现。所配置的所述部分允许用于快速扫描所述样品的表面，由此高速成像可以实现。进一步，实施例允许用于形貌的变化要准确捕获通过隧穿效应。 |
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