| 扫描探针显微镜 |
| WOJP10000164 2010-1-14 发明申请 |
| 2010-8-5 |
| 一种原子力显微镜(AFM)(1)是一种SPM和检测一个谐振频率移的作为所述量一探针和样品之间的交互的。所述AFM(1)进行距离调制控制，同时执行反馈控制的所述探针之间的距离和所述为了保持一个恒定量的样品的交互。该距离调制控制所述探针和所述样品之间的距离改变在一距离调制频率较高比响应速度，以所述反馈控制。所述AFM(1)获得所述量的交互，其中所述之间的距离的变化过程中被检测到的所述探头和所述样品通过所述距离调制控制，同时进行相对扫描的所述探针和样品和检测所述量的分布的三-维空间中的交互的所述扫描范围内具有一个区域和所述范围内的一厚度的所述探针和所述样品之间的距离的变化。因此，所述扫描探针显微镜(SPM)可以适当地测量所分配的所述探针之间的交互和所述三-维空间中的样品，同时进行稳定控制所述探头的位置。 |
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