| 线型多波长共焦显微镜模组以及线型多波长共焦显微方法与系统 |
| TW098102821 2009-1-23 发明申请 |
| 2010-8-1 |
| 本发明提供线型多波长共焦显微系统，其系利用两个以上之色差透镜，使一线入射光场产生色散而使不同波长聚焦於不同之位置。本发明更利用具有线扫描共焦原理及光源色散技术之该线型多波长共焦显微镜模组，以具有光学切片能力之共焦显微技术，配合光谱色散之高解析，发展长景深高解析之光学微形貌轮廓量测技术与系统。本发明之方法与系统利用宽频之线光源，藉由该色散物镜模组，使宽频光源产生轴向色散并聚焦在不同深度，同时获得聚焦表面反射光谱，经由狭缝进行空间滤波由线光谱影像感测单元精确侦测出光谱聚焦反应曲线之峰值位置，可精确且快速地完成剖面轮廓量测。 |
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