| 具有独立的力控制和位移测量的扫描探针显微镜 |
| US12362359 2009-1-29 发明申请 |
| 2010-7-29 |
| 本发明公开了一种纳米压头，其包括干涉仪，杆，力致动器和控制器。 干涉仪产生从可移动反射器反射的光束，干涉仪确定参考位置和可移动反射器之间的距离。 所述杆的特征在于杆轴线并且包括在其第一端上的尖端，所述杆包括在靠近所述尖端的位置处的可移动反射器。 所述尖端以允许所述尖端被压靠在样品表面上的方式设置。 力致动器响应于耦合到致动器的力控制信号，在平行于杆轴线的方向上向杆施加力。 控制器接收与干涉仪的确定距离并产生力控制信号。 本发明还可用作扫描探针显微镜。 |
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