| 一种开尔文探针力显微镜及其测量方法 |
| CN201010103017.1 2010-1-26 发明申请 |
| 2010-7-28 |
| 本发明提供一种开尔文探针力显微镜及其测量方法，包括扫描头(1)、低频电压信号发生器(2)、高频电压信号发生器(3)、高频振动信号检测器(4)、低频振动信号检测器(5)、电压信号叠加器(6)、补偿电压控制器(7)、主控制器(8)，所述低频电压信号发生器、高频电压信号发生器和主控制器的输出端均与扫描头电连接，所述高频振动信号检测器的输入端和输出端分别与扫描头和补偿电压控制器电连接，所述补偿电压控制器的输出端与主控制器电连接，所述低频振动信号检测器的输入端和输出端分别与扫描头和主控制器电连接。本发明的测量方法不会影响原子力显微镜原来的测量功能，并且可以提高开尔文探针力显微镜的空间分辨率和灵敏度。 |
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