| 一传输电子显微镜，一种电子-射线光谱仪 |
| JP2005124406 2005-4-22 发明授权 |
| 2010-7-28 |
| 要解决的问题 : 提供一种装置和方法，其评估测试件精确地和定量与电子束显微镜。 溶液 : 当一偏移电压被叠加在加速电压，所述强度，位置，和所述类似的一个电子束被检测到，和由该偏移电压被调整的照射条件的影响。因此，该电子束显微镜包括一个中断装置，用于中断所述电子束照射到所述测试件和一个电子光束检测器设置在所述中断装置。该测试片可以观察到，而不改变所述电子束照射条件到该测试片，即使当该加速电压一传输的电子束显微镜是改变。 版权 : (C)2007，inpit |
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