| 扫描探针显微镜-[nanotverdomer]，所述的组合与所述光学系统线性测量 |
| RU2010110686 2010-3-23 实用新型 |
| 2010-7-27 |
| 1。所述扫描探针显微镜-[nanotverdomer]，与所述的组合光学系统的线性测量，所含压电谐振器在所述形成的音叉，与所述块连接的激励和与该块的检测，在这种情况下，在一个压电谐振器的所述杆是固定的所述压针头，其特征是由所述的事实，它是另外提供用于为了所述三个坐标的定位装置，其包含所述平台，位于超出所述的压电驱动，和电容位移拾取器，其与所述的压电驱动器cmbined一起用于所述起见，除了所述控制单元的所述位移; 连接，在匝，下所述后续单元和计算机(s)，在这种情况下该平台上固定不低于一个三-棱镜，但为了的定位装置是另外cmbined所述光学系统，其包含所述源的相干发射，不被小于两个对齐的光学元件，所述的声-光调制器和所述的光信道，连接用于为了所述的光电转换器，与所述块连接的模拟-数字工作，该计算机上与所述出口(S)通过所述块收集的，存储和信息的处理，同时为了的该计算机的(S)和后续单元被连接与所述块的检测，和自身之间，和[pzorezonator]是所述机构的位移相对于该物体上建立被研究的和是提供用于为了所述传感器的弯曲的，向下连接所述计算机(s)。!2。扫描探针显微镜-[nanotverdomer]，与所述的组合光学系统的线性测量在[P]。1，其特征是由所述的事实所述的相干发射源是在所述形成所述单-频率执行由氦-氖激光稳定。!3。扫描探针显微镜-[nanotverdomer]，与所述的组合光学系统的线性测量在[P]。1，其是不同 |
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