| 用于显微镜的照明光学系统，以及显微镜 |
| US12687296 2010-1-14 发明申请 |
| 2010-7-22 |
| 照明光学系统包括，在从光源侧聚光透镜，视场光阑，具有正折射能力的物镜，孔径光阑，以及聚光透镜，具有正光焦度。所述照明光学系统为基本双侧远心光学系统视场光阑，样品表面之间，满足以下条件式，其中DFS指示视场光阑直径，β表示从样品表面的放大视场光阑，和NA表示样品表面侧上的数值孔径的照明光学系统。[式15中的线的Dfs/β≧≧9℃(1)，[/线式中][式0.85中的线≧≧钠0。5？？(2)，[/线式中] |
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