| 扫描电子显微镜的操作装置 |
| JP2008333492 2008-12-26 发明申请 |
| 2010-7-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一个操作装置，以控制所述一种扫描电子显微镜在视觉上的功能，其可以使用作为用于初级和次级学校教育中使用的SEM照片，高学校，大学或所述等，和作为一种模拟器，用于SEM操作的初学者，和用于表面分析领域或等其中所述的电子光束状态是使用通常作为一种实验参数。溶液 : 所述操作装置的所述SEM是提供具有 : 一个功能的一个操作装置，以调整该形状所述扫描电子显微镜自身和功能的图案图中可视化显示的所述电子束的轨道，或调整所显示的所述电子束的位置; 一显示装置，其调整后显示该状态当所述的功能或所述位置的所述形状所述电子束显示的是通过调整所述操作装置; 一个计算装置，其计算所述SEM所述电压或电流到所述的功能对应到该调整调整后的形状或调整位置和检测; 和一种实现装置，其通过所述计算装置提供所述计算出的电压或电流到所述的功能所述SEM。版权 : (C)2010，inpit |
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