| 利用原子力显微镜方法用于制备金属纳米图案的光刻 |
| KR1020090000728 2009-1-6 发明申请 |
| 2010-7-15 |
| 目的 : 一种用于制备金属纳米图形的方法使用一个原子是提供以有效地形成一金属纳米图形一基板上对应到一种原子力显微镜的探针通过形成一电阻膜形成后的有机中间层。<\/P> 构成 : 一衬底的表面被重整以一负离子(S10)。一种有机的化合物的中间层被形成在所述衬底表面的改性(S20)。所述抗蚀剂包括有机-金属化合物是上扩展所述有机化合物的中间层以形成一抗蚀剂膜(S30)。所述探针之间施加一个电压的一个原子力显微镜和所述衬底以形成一种纳米-所述衬底的表面上的图案(S40)。所述抗蚀剂膜中从所述衬底被去除，其中所述金属纳米图形被形成(S50)。<\/P> 版权kipo2010<\/P> |
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