| 充电检测方法用于扫描电子显微镜 |
| JP2008330030 2008-12-25 发明申请 |
| 2010-7-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一的方法能够进行观察的一个任意的样品或检测的充电。在一种扫描电子显微镜中的一个测量部分，而不需要硬件的修改。溶液 : 一个位置在高度方向的一个阶段用于安装所述扫描电子显微镜观察的样品作为一种焦值，励磁电流值的一个所述扫描电子显微镜的物镜，和\/或减速该扫描电子显微镜的电压值被设定到被聚焦值，并且它是确定所述当发生充电所述各图案的聚焦值是在一个电平差在所述的附近改变一个富一个导电薄膜之间的边界区和一个绝缘部分，丰富区。版权 : (C)2010，inpit |
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