| 在电磁透镜的色像差系数测量方法和扫描传输电子显微镜 |
| JP2008333020 2008-12-26 发明申请 |
| 2010-7-8 |
| 要解决的问题 : 提供一种电磁透镜的色像差系数测量方法，和一个扫描传输电子显微镜，其中一个色像差系数是测量准确和容易地仅通过获得一个高-分辨率电子显微图像在不改变一个电子的加速电压。解决方案 : 一种显微图像，在其中一个所述电磁透镜的聚焦位移量是连续变化，获得的是通过实际测量获取一个高-分辨率扫描中的传输与分辨率的0.3nm或更少的电子显微图像，通过使一会聚的电子束具有穿过所述电磁透镜具有校正球面像差，进入一个单结晶的样品与一种已知的结晶结构和晶格常数。一种回归曲线获得的是从一个强度轮廓，其中所述一个扫描中被平均的显微图像中方向。该色像差系数得到从一计算结果的逻辑通过理论计算得到的显微图像，在所述相同的条件作为所述显微图像，被所述回归曲线的比较，以一参数来计算该色度所述电磁透镜的像差系数。版权 : (C)2010，inpit |
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