产业集群信息网

产业专利数据

紧凑型扫描电子显微镜

US12303611 2007-6-7 发明申请

2010-7-8

一种紧凑型电子显微镜使用具有壁的可移除样品保持器，所述壁形成样品所驻留的真空区域的一部分。使用本实用新型盛装真空，大大减少了成像前需要抽真空的空气量，使显微镜能够快速抽真空。在一个优选实施例中，滑动真空密封件允许样品夹持器位于电子柱的下方，并且样品夹持器首先通过真空缓冲器以除去样品夹持器中的空气。