| 一种透射电镜用力电性能与显微结构测量的传感器 |
| CN200920220390.8 2009-10-30 实用新型 |
| 2010-7-7 |
| 本实用新型涉及透射电镜用力电性能与显微结构的传感器。本实用新型为一个中空的结构，该结构自下而上由阻挡层、硅衬底、外延层α和绝缘层组成；该结构中间部分的阻挡层和部分硅衬底被刻蚀，剩余的周边部分包括阻挡层、硅衬底、外延层α和绝缘层四层，称为基础部分；中间部分继续被刻蚀穿形成压敏电阻悬臂梁和悬空结构；传感器的基础部分上放置双金属片；所述的悬空结构，位于双金属片与压敏电阻悬臂梁之间且互相不接触；悬空结构通过两侧的支撑梁连接在基础部分上；所述的悬臂梁和基础部分的上方有一个惠斯通电桥电路。本实用新型可在原子点阵分辨率下，原位记录低维纳米材料力电性能和显微结构变化的相关性。 |
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