| 聚光透镜和显微镜 |
| JP2008315959 2008-12-11 发明申请 |
| 2010-6-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一聚光透镜和AF显微镜,其使一待使用的AF单元; 即使当不存在反射表面,以反映所述样品表面附近的AF光。溶液 : 该自动聚焦显微镜100具有一光源L1,一种自动聚焦光学系统10用于照射所述的光从所述光源到样品表面S通过所述物镜G5,以检测所述从所述样品表面的返回光与光学传感器C通过所述物镜,和一个光学系统20包含一个光学部件mir,具有一反射表面,它是等效于所述样品表面在所述相反侧所述物镜的透镜具有相对于所述样品。版权 : (C)2010,inpit |