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确定纳米技术中结构-性能关系的透射电子显微镜网格

US12600764 2008-5-19 发明申请

2010-6-24

通过在硅衬底上形成氧化物层来制造具有电子透明SiO2窗口的硅栅，该硅栅用作化学改性SiO2表面的高分辨率透射电子显微镜的衬底。通过将衬底蚀刻到氧化层，在硅衬底中限定孔。单个衬底可以包括位于由衬底中的一个或多个沟道限定的相应框架区域中的多个孔。可以提供结构或化学官能化，并通过TEM观察表面相互作用。