| 扫描探针显微镜与电流控制的致动器 |
| WOCH08000538 2008-12-17 发明申请 |
| 2010-6-24 |
| 所述压电致动器(1)振荡所述一个扫描探针显微镜的探针是设置在所述反馈支路(3)。一个模拟放大器(4)的。一电流源(10)被提供用于进给一个定义的交变电流到所述输入的所述放大器(4)。所述放大器(4)努力以调整该电压在所述致动器(1),使得该电流从所述电流源(10)流过所述致动器(1)。作为该电流通过所述致动器(1)是以其偏转成比例,这种设计允许对运行所述致动器在恒定的幅度,而不需要复杂的反馈环路。 |