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扫描电子显微镜用电子枪
CN202311824410.3 2023-12-27 发明申请
2024-2-23
本申请涉及电子显微镜领域,尤其是涉及一种扫描电子显微镜用电子枪,包括真空座,真空座内安装有热发射模块,热发射模块与外部电源相连,真空座上还安装有对中机构,对中机构用于将真空座与聚光镜的镜筒相连,且对中机构用于对真空座进行对中调节,本申请改善了传统方式中电子枪发射的电子束与光学中心存在偏差的问题,能够达到减小电子束与光学中心的偏差的效果。
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