| 扫描电子显微镜 |
| WOJP09006315 2009-11-24 发明申请 |
| 2010-6-24 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜，包括 : 一个图像存储单元(112)，其存储获取的多个的帧图像; 一校正计算处理单元(113)计算一帧图像之间的漂移量和一种漂移量之间的多个场构成一帧图像的图像; 和一数据处理单元(111)，其相应字段的校正位置构成所述多个场图像的图像根据该场图像之间的所述漂移量和所述场图像叠加在一个另一个以作为到创建一个新的帧图像。这提供了一种扫描电子显微镜，可以得到清晰的帧图像，即使如果一个图像漂移被观察期间引起的一种图案的一半导体衬底或+一绝缘物体上。 |
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