| 一种实现无孔径近场扫描光学显微镜的方法和装置 |
| US12529722 2008-10-30 发明申请 |
| 2010-6-17 |
| 一种用于对样品执行无孔径近场扫描光学显微镜检查的显微镜，包括用于安装样品的装置； 扫描探针； 用于相对于连接所述探针和所述样品的假想线从至少两个照射角沿光轴用光照射所述样品的装置； 用于利用所述探针增强所述样品的区域中的光的电场的装置； 用于在垂直于连接所述探针和所述样品的假想线的平面中扫描所述样品的装置； 用于沿所述假想线移动所述样品以在所述探针和所述样品之间保持几乎恒定的距离的装置； 以及用于收集从样品散射、发射或透射的光的装置。 |
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