| 传输电子显微镜具有电子光谱仪 |
| WOJP09005999 2009-11-11 发明申请 |
| 2010-6-17 |
| 一通过一轴形成的光谱图像的所述能量损失量和所述位置信息的一个轴，其轴彼此垂直相交是通过一个电子能谱仪和一个传输电子显微镜处理如下。电子束位置是计算从两个三维电子束通过所述前述两个轴位置形成图像。所述电子束位置相比是以一基准电子束的位置。一失真计算量是根据一个所述各电子束位置之间的不同点。因此，所述的一种失真一待分析样品的光谱图像能被校正的与一高效率和高精度。本发明提供了一种方法和一种装置，用于有效地和精确地校正失真的光谱图像形成通过所述能量损失量和所述轴的所述轴的所述位置信息，其轴垂直相交的每个其它。 |
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