| 用于处理输出的扫描型探针显微镜方法，和扫描型探针显微镜 |
| WOJP09006658 2009-12-7 发明申请 |
| 2010-6-17 |
| 用于一种扫描型探针显微镜用于其中一个悬臂保持构件精细地向上\/向下移动，与所述传统的光学杠杆所述的方法，它是不可能的，以提取所述偏转的量(θ)和所述精细的向上\/向下移动量(z)一悬臂从所测量的输出。入射光(19)辐射从一激光光源(18)是由所述的上表面反射的一悬臂(13)和反射的光(19a)进入光检测装置(20)。该入射光(19)和所反射的光(19a)是一平面中它不包括所述长所述悬臂的轴(13)。由于该入射光(19)和所反射的光(19a)是一平面中它不包括所述所述悬臂的长轴(13)，位移所反射的光(19a)由于该变化在所述的量偏转(θ)和所述变化在所述精细的向上\/向下移动量(Z)的所述悬臂(13)是在不同所述光检测装置(20)上方方向。因此，该变化在所述的偏转(θ)和所述变化量在所述精细的向上\/向下移动量(z)的所述悬臂(13)从所述的输出可以被提取的所述光检测装置(20)。 |
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