| 扫描电子显微镜，放电电子检测值估计方法，SEM图像的模拟方法，和其程序 |
| JP2008306300 2008-12-1 发明申请 |
| 2010-6-10 |
| 要解决的问题 : 以提供 : 一种方法用于获得高度精确地估计一个发射电子的检测值通过实际观察; 一种方法用于高度精确地模拟一实际观察得到的SEM图像; 和一种扫描电子显微镜具有一个设置其中的电子光学系统或等，使得一个虚拟SEM的图像被实际获得的。溶液 : 在所述放电电子检测值估计方法，所述的电子光学系统4的电磁场分布的EM在一个电子显微镜体1被计算，同时检测值的第一发射的电子50从一个样品5在所发射的电磁场分布的EM和第二发射的电子52从所述的电子碰撞的光学系统与第一发射的电子是由一蒙特卡罗计算方法。该检测值被获得用于每一种电子束的入射位置2到该样品5，以及SEM的图像被形成对应于所检测的值。当一个所希望的图像是从所述SEM图像中选择和指定，所述的电子光学系统或所述等被设定到所述模拟条件和这种SEM图像可以实际观察到的。版权 : (C)2010，inpit |
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