| 扫描探针显微镜，所述的组合与所述装置测量的质量和耗散特性 |
| RU2008147807 2008-12-4 发明申请 |
| 2010-6-10 |
| 1。所述扫描探针显微镜，组合与所述所测量的质量和耗散特性的装置，所述含有单元控制压电石英晶体的是microgravimetric的([pkm])，所述扫描装置与所述夹持器的探头，探头，注册系统; 照相机和所述放置所述摄像机旁石英谐振器，其包含所述石英盘，上和下电极，其其特征在于，所述的事实，它被引入所述光学系统旁边，XYZ定位装置和输送的所述应力所述探针和所述上电极之间。!2。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述膜，所述的夹持器之间的气密固定探针和所述摄像机; 被引入它旁边。!3。[P]上的装置。2，其特征是由所述的事实所述进料系统和气体排放，为了的cmbined所述摄像机，被引入它旁边。!4。[P]上的装置。1，其特征是由该事实在所述形式的电动驱动XYZ所述定位器被执行的。!5。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述进料系统和液体的出口，用于为了的cmbined所述的照相机，被引入它旁边。!6。[P]上的装置。1，其特征是由该事实，该单元的旁边控制所述retunable[pkm]被引入所述的发电机频率。!7。[P]上的装置。1，其特征是由该扫描隧道显微镜的所述的事实所述针被用于作为所述探针。!8。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述超声激励的波动被引入所述的装置旁的该照相机。!9。[P]上的装置。1，其特征在于，通过该旁的事实它被引入所述恒电位仪，连接与所述上电极，和还引入所述摄像机旁反电极和参考电极与恒电位仪相连。!10。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述热-控制元件被引入所述摄像机旁。!11。[P]上的装置。10，其特征是由所述的事实所述温度敏感元件是引入所述摄像机旁。!12。装置在 |
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