| 界面、用于观察非真空环境中物体的方法和扫描电子显微镜 |
| US12446757 2007-10-23 发明申请 |
| 2010-6-10 |
| 一种用于观察位于非真空环境中的物体的界面、扫描电子显微镜和方法。 所述方法包括 : 使在真空环境中产生的至少一个电子束通过孔阵列中的至少一个孔，并通过密封所述至少一个孔的至少一个超薄膜； 其中所述至少一个电子束指向所述物体； 其中所述至少一个超薄膜承受所述真空环境和所述非真空环境之间的压力差； 以及检测响应于所述至少一个电子束与所述物体之间的相互作用而产生的粒子。 |
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