| 干涉相位差显微镜 |
| CN200810171601.3 2008-10-21 发明申请 |
| 2010-6-9 |
| 本发明公开了一种干涉相位差显微镜，适于检测于量测区内的待测物。干涉相位差显微镜包括光源、分光镜与影像传感器，其中分光镜是将光源所产生的光束反射至量测区，而光束从量测区被反射后会穿过分光镜而入射影像传感器。干涉相位差显微镜更于光束的光路上配置第一偏极片、第二偏极片、第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜，其中第一偏极片是位于光源与分光镜之间，而第二偏极片是位于分光镜与影像传感器之间，且第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜是依序位于分光镜与量测区之间。第一干涉相位差棱镜的主轴与第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。 |
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