| 光学扫描显微镜 |
| JP2008297453 2008-11-21 发明申请 |
| 2010-6-3 |
| 要解决的问题 : 提供一具有一控制电路用于光源的光学扫描显微镜,其可以被设计在一个短的时间和在所述所发生的概率是低的缺陷。溶液 : 所述光学扫描显微镜包括 : 一光源部分具有一第一光源组包括所述的多个光源和第第二光源组包括所述多个光的光源; 一种照明光学系统,其与从所述光源发出的光照射一样品部分; 一个光接收光学系统,其接收观察光从所述试样; 和一个控制部分控制所述光源的所述操作部。所述控制部具有这样的功能 : 一控制信号用于控制一定的光源的所述第一光源组,根据第一产生的接收信号,被输出作为一个控制信号控制所述光源第二的光源根据第二接收信息组。版权 : (C)2010,inpit |