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光学显微镜和光谱测量方法
US12591584 2009-11-24 发明申请
2010-5-27
光学显微镜通过物镜将激光施加到样品上, 检测样品通过物镜反射的反射光,沿光轴方向改变激光的焦点位置,当激光的焦点位置改变时基于反射光的检测结果提取用于光谱测量的焦点位置,调节焦点位置以与提取的焦点位置一致,通过施加具有调整的焦点位置的激光将从样品出射的出射光与激光分离,并用分光镜测量与激光分离的出射光的光谱。
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