| 自位移传感悬臂梁和扫描探针显微镜 |
| US12592428 2009-11-24 发明申请 |
| 2010-5-27 |
| 提供了一种自位移感测悬臂，包括 : 悬臂(4)，其在其尖端处具有探针(2)并且在其远端处具有远端部分(3)； 位移检测部(5)，设置在所述悬臂(4)上，用于检测所述悬臂(4)的位移； 电极部分(6)，其连接到位移检测部分(5)并与远端部分(3)连通； 以及绝缘膜(7)，其形成在悬臂(4)的电极部分(6)和位移检测部分(5)中的至少一个上，其中绝缘膜(7)涂覆有任意功能材料(8)的涂层。 结果，可以在投射光的同时利用扫描探针显微镜进行测量。 |
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