| 扫描探针显微镜中相互作用力的测量方法 |
| US12277158 2008-11-24 发明申请 |
| 2010-5-27 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜及其操作方法。 该显微镜包括用于附接探针的探针安装件、机电致动器、探针位置信号发生器、脉冲信号发生器和伺服机构。 探针尖端安装在悬臂的第一端上，悬臂的第二端安装在机械振动器上，该机械振动器使第二端响应于驱动信号而振动。 探针位置信号发生器产生指示探针相对于悬臂的第二端的位置的位置信号。 脉冲信号发生器测量与通过探针尖端和样品的局部特性之间的相互作用施加到探针尖端的脉冲有关的量。 伺服操作机电致动器，以便将测量量保持在预定值。 |
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