线结构光共焦扫描显微镜
 
CN200920141059.7  2009-7-11  实用新型

2010-5-26
 
  本实用新型公开了一种线结构光共焦扫描显微镜,包括图像采集系统、直线扫描系统和主支撑架,与现有技术不同的是:在图像采集系统与直线扫描系统之间设置有光学成像系统,该光学成像系统设置在主支撑架上,其分光镜与图像采集系统中的CCD相对应,物镜垂直设置在直线扫描系统中的载物台上方。所述的光学成像系统为被测细缝表面、细缝光源和探测细缝三者共轭的光学成像系统。本实用新型具有结构新颖、简单、成本较低、价格便宜、成像速度较快的优点。
 
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