| 显微镜 |
| JP2008287740 2008-11-10 发明申请 |
| 2010-5-20 |
| 要解决的问题 : 提供一种显微镜能够制造的实际位置与一登记的位置重合，即使当所述死区或更少的量的偏差是导致之间的实际位置和一脉冲位置。溶液 : 该显微镜1是采用。该显微镜1计算量的所述死区的方向根据所述的移动方向上的一个电机6，基于所述电机6所述当前脉冲的位置上，所述一个级的当前位置5或一物镜透镜3和所述量的所述死区的一传输机构，其被存储在一个存储部分和计算用于所述电机6所述命令的脉冲数用于移动所述级5或所述物镜透镜3到目标位置，基于所述电机6所述当前脉冲的位置之间的差该电机6和该目标脉冲的位置和所述量的所述死区的方向。版权 : (C)2010，inpit |
微信公众号