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操作的一个扫描探针显微镜方法和装置

WOUS09064476 2009-11-13 发明申请

2010-5-20

一种改进的AFM成像(峰值力模式300的分接(pft)模式)使用力作为所述反馈变量，以减少尖-样品的相互作用力的同时维持扫描速度可达到的所有现有的AFM的操作模式。样品成像和机械特性与改进的分辨率和高样品吞吐量映射被实现，与所述的模式可使用在变化的环境中，包括气态，流体和真空。