| 校准标准部件，用于制造该构件的方法，和扫描电子显微镜使用所述构件 |
| WOJP09005562 2009-10-22 发明申请 |
| 2010-5-14 |
| 本发明提供一种标准部件，用于执行高精度地一种电子显微镜中要使用的一放大倍率校准。一平面方向(110)或(100)硅衬底包含一由一周期性图案的放大倍率校准图案的一个恒定的间距大小和一平面方向(110)或(100)硅衬底含有不所述的周期性图案所述恒定的间距尺寸，但一种光学轴调整图案是通过使用没有粘接剂接合和通过对准平面方向所述两个基板与每个其它的。接着，该连接基板被劈裂或切割，使得所述(111)平面或(110)及其平面可以被截面表面，和一个所述的周期性图案的所述单独的图案被选择性地蚀刻以形成所述标准部件其具有一波纹一恒定的间距大小的周期性图案部分上具有无任何步骤和任何一种超晶格上的图案和损伤被垂直于所述衬底表面。 |
微信公众号