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操作扫描探针显微镜的方法和装置

US12618641 2009-11-13 发明申请

2010-5-13

一种改进的AFM成像模式(峰值力抽头(PFT)模式)使用力作为反馈变量来减少针尖-样品相互作用力，同时保持现有AFM操作模式可实现的扫描速度。样品成像和机械性能映射通过提高分辨率和高样品吞吐量来实现，该模式可在不同环境下工作，包括气体、流体和真空环境。