| 用于在扫描电子显微镜中获得地形暗场图像的设备和方法 |
| US12194153 2008-8-19 发明授权 |
| 2010-5-11 |
| 一种电子束装置被配置用于衬底表面的暗场成像。 暗场被定义为图像对比度对表面地形特征敏感的一种工作模式。 源产生一次电子束，扫描偏转器配置成偏转一次电子束，以便在衬底表面上扫描一次电子束，由此从衬底表面发射二次和/或后向散射电子，所述发射电子形成散射电子束。 束分离器被配置为将散射的电子束与初级电子束分离。 所述装置包括协作布置，所述协作布置包括至少环形元件、第一栅格和第二栅格。 所述环形元件以及所述第一栅格和所述第二栅格各自包括导电材料。 分段探测器组件被定位成在散射电子束通过协同装置之后接收散射电子束。 还公开了其它实施例、方面和特征。 该装置被配置成产生良好的地形对比度、高信噪比，并适应由不同的主光束和扫描几何设置产生的各种散射光束特性。 |
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