扫描探针显微镜的组合与装置,用于修改对象的表面
 
RU2008130494  2008-7-24  发明授权

2010-5-10
 
  字段 : 物理学。物质 : 扫描探针显微镜,其具有一装置用于修改所述表面是组合的一个对象包括一个平台其上有一管芯与一第一致动器和一个样品与第二致动器移动机构,一个扫描装置,一测量探针与一保持器和一控制单元。所述扫描装置是安装在所述样品移动机构,和所述样品被连接到所述扫描装置。效果 : 增加该装置的分辨率。18Cl,8显示
 
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