| 扫描探针显微镜 |
| JP2008275981 2008-10-27 发明申请 |
| 2010-5-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜观察该样品的表面，即使当一个不管探针不接触该样品的Q值的一悬臂。溶液 : 一样品侧的超声波波频率f1被发射到一个样品，和一个超声波的波一杠杆侧频率f2被发射到所述的悬臂3。一种提取单元25提取一个特定频率分量的改变依赖于所述探针之间的距离在一个非接触状态和所述样品从所述悬臂的振动信号3。例如，所述特定频率分量是所述之间的差的绝对值的频率分量所述样品侧频率f1和所述杆侧频率f2，所述样品侧频率f1或所述的组件。一个幅值检测单元27检测该所述特定频率分量的幅度。一反馈控制单元29进行反馈控制的一种扫描仪7通过使用所述幅度的所述特定频率分量。所述反馈控制的目标值被设置在所述该特定频率分量的幅度当所述悬臂3和所述样品中的近似到每个其它一非接触状态。版权 : (C)2010，inpit |
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