| 烘烤机构用于电子显微镜的样品室 |
| JP2008292771 2008-10-21 发明申请 |
| 2010-5-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一机构能够简单地和安全地进行烘烤的一个样本室周围没有需要大规模的拆卸和维护的一个电子显微镜当需要烘烤的壳体在所述的电子显微镜在以便减少污染积累在一个样品部分，其中一电子束照射。溶液 : 所述电子显微镜中作为一种优选的第一实施例中，一种热的光束被照射到所述表面一构件面对所述真空区围绕所述样品室从一个光-发射源在所述的附近设置一安装一样品架的位置和承载在所述物镜的一个极片的附近通过插入到一个驱动装置相连的样品，同时所述壳体中保持一种真空区。所述电子显微镜中作为一种优选的第二实施例中，所述热的光束被照射到所述表面所述构件面对所述真空区从一个光-发射源所述样品室周围设置一个端口-型构件中可安装在一多用途的接入端口上存在一个主缸部件的所述样品室。各个部件的表面温度被增加，因为所述热的光束被照射到整个区域由反射，折射，和各部件的表面上扩散。附着残留物被扩散到所述真空区，和是由一真空放电装置排出。版权 : (C)2010，inpit |
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