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扫描传输电子显微镜使用气体放大

EP09174824 2009-11-3 发明申请

2010-5-5

一扫描传输电子显微镜(100)操作与所述样品(114)一种高压力的环境中(116)。一种优选的检测器(120, 122)使用气体发送放大的转换或者散射或未被散射的电子到二次电子的用于高效气体放大。