| 应用椭圆透镜的自由曲面照明系统结构的高性能EUV显微镜装置 |
| KR1020220097890 2022-8-5 发明申请 |
| 2024-2-14 |
| 一种具有自由形状照明系统的高性能EUV显微镜装置，所述自由形状照明系统具有椭圆镜，包括：EUV源，用于输出EUV光； 球面镜，其具有接收并反射从EUV光源输出的EUV光并通过双轴角度扫描控制入射光的反射方向的双轴驱动单元； 光路改变装置，用于接收从球面镜反射的反射光，并向待测量的目标对象提供照明光； 波带片透镜，用于对进入目标物体后反射的光线进行聚焦； 以及光电探测器，用于接收由波带片透镜聚焦的光。 |
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