产业专利数据
 
用扫描电子显微镜的外观检查装置和使用扫描电子显微镜图像数据的处理方法
 
JP2008035106  2008-2-15  发明申请
2009-8-27
 
  要解决的问题 : 以提供一种外观检查装置，其允许一个用户给出优先级以任一缺陷检测性能或吞吐量。溶液 : 该外观检查装置允许用户以选择所述数字图像信号的频率或所述比所述的频率的所述数字图像信号以采样速率。进一步，一个用户被允许选择或者吞吐量的改进或s\/N的改进，以区分优先次序。版权 : (C)2009，inpit
 
Copyright © 广东省科技图书馆（广东省科学院信息研究所）  
粤ICP备05059360号-1 详细地址：广州市先烈中路100号        
联系电话：020-37656525 咨询邮箱：stlib@stlib.cn
  •  

  • 微信公众号

仿站