| 扫描电子显微镜系统及使用该系统测量半导体器件上形成的图案尺寸的方法 |
| US12370870 2009-2-13 发明申请 |
| 2009-8-27 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜系统，其适于输出与样品的真实图案边缘端相吻合的轮廓信息， 并设置成通过在扫描电子显微镜图像的图案边缘的每个点处相对于图案边缘在切线方向上投影扫描电子显微镜图像来生成局部投影波形， 通过将在每个点上产生的局部投影波形施加到先前已创建的库上，将截面形状与电子束信号波形相关联，估计在样本上传送的图案的截面形状，获得与截面形状吻合的边缘端部的位置坐标，并将图案的轮廓作为位置坐标范围输出。 |
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