| 扫描探针显微镜用镊子系统，扫描探针显微镜装置及除尘方法 |
| US12355365 2009-1-16 发明申请 |
| 2009-7-23 |
| 本发明提供一种工件的前端形状的自由互换装置， 例如， 去除灰尘等， 另外， 本发明提供一种镊子，即使在污染工件的情况下，也能够容易地进行处理，并且即使在例如初学者的操作者在不受操作者技术的控制的情况下进行操作的情况下，也能够识别缺陷，所述镊子由两个臂构成，所述两个臂具有与集成到扫描探针显微镜上的样品相对设置的探针，并且在其前端分别构成观察对象或工作对象，所述镊子选择性地夹持所述多种互换工件中的一种。 互换工作有观察笔工作，接触孔工作，转角工作，切割工作，压舌板形工作。 |
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