| 扫描探针显微镜 |
| US11737779 2007-4-20 发明申请 |
| 2007-11-22 |
| 利用扫描探针显微镜，如果使用允许探针接近和退出样品的扫描方案来测量多个样品性质，则需要在最小所需测量时间内准确和可靠地检测样品性质。 另外，探针和样品之间的作用力根据探针的类型和探针尖端的磨损状况而变化。 因此，不利的是，使用不同探针获得的特性值不能相互比较，除非消除测量探针的人为影响。 根据本发明，利用扫描探针显微镜，使探针与样品间歇接触，同时驱动装置重复地允许探针以可变幅度接近和退出样品。 因此以高速获得样品性质。 另外，在给定的环境(给定的温度和湿度)中使用校准样品以获得至少一个点的力曲线。 从力曲线获得的信息用于校正测量结果以显示样品性质的分布。 |
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