| 扫描电子显微镜及其使用方法。 |
| JP2008268441 2008-10-17 发明申请 |
| 2010-4-30 |
| 要解决的问题 : 以使SEM观察具有高的溶液而不给出的损伤到一易碎的样品。溶液 : 一电位控制部14被设置在一个平面，其是位于所述的下表面侧上的一个样品架12和垂直于光学轴的电子束照射到一观察样品10。然后，该观察样品10是由相对的一个面支持到所述电位控制部14的一个样品支撑部11固定到所述样品架12，所述电子束的加速电压被设定到具有通过不允许一次电子获得一个值，以基本发射通过所述样品支撑部11和允许所述样品中产生的二次电子的支撑部11，以达到一个观察样品支撑面，和该观测是进行这种条件下使所述电位控制部14是由以具有一较高电位(V1 : V1>V0)比所述的电势(V0)的所述样品架12。当所述SEM观察是这样的一种条件下进行，二次发射的电子从所述的下表面所述样品支撑部11被拉动通过所述电位控制部14所述的光学轴方向中的所述电子束，因此随机所述二次发射的电子被抑制，一种isec获得的图像和所述的高分辨率可以被实现。版权 : (C)2010，inpit |
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