| 扫描显微镜 |
| JP2008260248 2008-10-7 发明申请 |
| 2010-4-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜，其通过导光至光获得明亮的图像-接收表面在一个最佳的放大率。溶液 : 该扫描显微镜1包括 : 一光源6射出照明光; 一物镜透镜32会聚该照明光并与所述冷凝的照明光照射一样品S; 一扫描装置2，其是一光源6之间设置和一个物镜光学系统3和所述标本扫描的表面S与所述的照明光; 光分离部4所述扫描装置2之间，其被设置和所述物镜透镜32，将一个所述的照明光的和观察光从所述样品S和反映所述其它; 一个检测部分5，其所述的接收表面5a被设置在一位置基本上共轭与所述所述物镜透镜32的出射光瞳的位置和检测所述观测传输或反射的光通过该光分离部分4; 和一改变放大率的光学系统7，其是所述光分离部4和检测部之间设置5，和改变所述出射光瞳的图像的尺寸根据所述物镜透镜32，同时保持所述基本上共轭光接收表面5a之间的关系和所述物镜透镜32。版权 : (C)2010，inpit |
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